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J-GLOBAL ID：200903008673782694

酸化亜鉛透明導電膜

Inventor： 山本 哲也 ,  中原 健
Applicant, Patent owner： ローム株式会社
Agent (1)： 河村 洌
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000234945
Publication number (International publication number)：2002050229
Application date： Aug. 02, 2000
Publication date： Feb. 15, 2002
Summary：

【要約】【課題】 ZnOの抵抗率を下げ、ITOの抵抗率より低い抵抗率を有する酸化亜鉛透明導電膜を提供する。【解決手段】 ZnO結晶層にドーパントとして、たとえばGaのようなIII族元素などのn型ドーパントと、たとえばNのようなV族元素などのp型ドーパントとがドーピングされ、そのn型ドーパントがp型ドーパントより多く、かつ、n型ドーパントが1×1018cm-3以上の不純物濃度にドーピングされている。

Claim (excerpt)：

酸化亜鉛層と、該酸化亜鉛層にドーパントとしてn型ドーパントとp型ドーパントとがドーピングされ、該n型ドーパントがp型ドーパントより多く、かつ、該n型ドーパントが1×1018cm-3以上の不純物濃度にドーピングされてなる酸化亜鉛透明導電膜。

IPC (4)：

H01B 5/14 ,  G02B 1/10 ,  H01L 31/04 ,  G02F 1/1343

FI (5)：

H01B 5/14 A ,  G02F 1/1343 ,  G02B 1/10 Z ,  H01L 31/04 M ,  H01L 31/04 H

F-Term (12)：

2H092HA03 ,  2H092KA19 ,  2H092KB14 ,  2H092NA28 ,  2K009CC03 ,  2K009DD03 ,  2K009EE03 ,  5F051BA11 ,  5F051FA02 ,  5F051FA24 ,  5G307FB01 ,  5G307FC10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 透明導電膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-204960   Applicant：旭硝子株式会社