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J-GLOBAL ID：200903008682372148

研磨装置及び研磨方法

Inventor： 内芝 栄士郎 ,  品田 邦典
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996341542
Publication number (International publication number)：1998180620
Application date： Dec. 20, 1996
Publication date： Jul. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】効率的に、複雑な断面輪郭形状を有する部品の表面を均一に研磨する。【解決手段】研磨工具3の研磨パッド1は、加工物Aに押し当てられると加工物Aの断面輪郭形状に倣って変形する弾性材料で形成されている。加工槽13には、加工物Aと固相反応性に富んだ砥粒を含む研磨液10が充填してある。研磨液10中の砥粒は、帯電しているため、研磨工具3の台金3aと電極9との間に、台金3a側が砥粒と反対の極性となるような電圧が印加されると、研磨パッド1の孔2に向かって引き寄せられる。そのため、研磨パッド1の作業面には十分な砥粒が絶えず供給される。また、研磨パッド1と加工物Aとの摺動運動に伴い、研磨パッド1の孔2に引き寄せられた砥粒は、加工物Aの溝部a1に密集してくる。そのため、他の領域a2よりも砥粒切れ刃の機械的研磨作用が及びにくい溝部a1には、ここに密集した砥粒の化学的研磨作用が積極的に及ぼされる。

Claim (excerpt)：

加工物に押し当てられて前記加工物の断面輪郭形状に倣って弾性変形する砥粒保持材を備えた研磨装置であって、電荷を有する砥粒を含んだ研磨液を充填するための加工槽と、前記砥粒保持材を前記加工物の表面に押し当てる押圧手段と、前記加工槽に充填された研磨液中で前記加工物と前記砥粒保持材とを相対的に摺動させるために、前記加工物と前記砥粒保持材とを相対的に移動させる移動手段と、前記加工槽に貯蔵された研磨液中の砥粒を、前記加工物と前記砥粒保持材との間に引き寄せる電界を形成する電界形成手段とを備えることを特徴とする研磨装置。