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J-GLOBAL ID：200903008688036115

硬質炭素被膜が形成された回転圧縮機

Inventor： 平野 均 ,  蔵本 慶一 ,  堂本 洋一 ,  樽井 久樹
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 安富 耕二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998083268
Publication number (International publication number)：1999280680
Application date： Mar. 30, 1998
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：

【要約】【課題】 硬質炭素被膜を高負荷荷重下で使用する部材に形成すると、摺動することによって摺動部が高温になり、硬質炭素被膜が初期特性から変化し、熱によってその硬度が減少すると共に、耐摩耗性が悪くなり、当初の硬質炭素被膜の優れた特性を示さなくなる。【解決手段】 本発明の硬質炭素被膜は、基体に対するイオンビームの照射によって該基体上に形成される硬質炭素被膜の膜中の水素量が20%以下であり、且つイオンビームのエネルギーが200eV以上であることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

回転するクランク軸の偏心部に取り付けられた、外周面を有するローラと、前記ローラを収納し、前記ローラの外周面に接して摺動する摺動面を内面に有するシリンダと、前記シリンダの内面に形成された溝内に収納され、先端部が前記ローラの外周面に接して摺動するベーンとを備え、前記ベーンの少なくとも先端部または側面部に、イオンビームを照射することによって該ベーン上に形成される硬質炭素被膜の膜中の水素量を20%以下としたことを特徴とする硬質炭素被膜が形成された回転圧縮機。

IPC (3)：

F04C 18/356 ,  C23C 14/06 ,  F04C 29/00

FI (4)：

F04C 18/356 P ,  F04C 18/356 K ,  C23C 14/06 F ,  F04C 29/00 U