物理量計測方法及びセンサ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川芳樹 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998177376
Publication number (International publication number)：2000009495
Application date： Jun. 24, 1998
Publication date： Jan. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】所定の物理量を安定して精度良く計測できる方法を提供する。【解決手段】本発明の物理量計測方法では、光導波路型ブラッググレーティングを有するコアと、コアを覆い、コアよりも低い屈折率を有するクラッドとを備えた光導波路を用いる。この方法は、グレーティングの透過光及び反射光の少なくとも一方のスペクトラムを測定するステップ、この測定されたスペクトラムから、光強度の極値を有し、物理量の変化に応じて変化する二つ以上の特定波長の値を求めるステップ、並びにこれら二つ以上の波長値を用いて物理量を求めるステップを備えている。上記特定波長の各々の測定値に含まれる誤差は、二つの特定波長の測定値の差をとることで低減又は消去できる。従って、二つの特定波長の測定値の差を利用することで、これらの波長値に影響を及ぼす物理量を安定して精度良く計測することができる。

Claim (excerpt)：

光導波路型ブラッググレーティングを有するコアと、前記コアを覆い、前記コアよりも低い屈折率を有するクラッドとを備えた光導波路を用いて所定の物理量を求める物理量計測方法であって、前記グレーティングの透過光及び反射光の少なくとも一方のスペクトラムを測定するステップと、この測定されたスペクトラムから、光強度の極値を有し、前記物理量の変化に応じて変化する二つ以上の特定波長の値を求めるステップと、これら二つ以上の波長値を用いて前記物理量を求めるステップとを備える物理量計測方法。

IPC (3)：

G01D 5/26 , G01K 11/12 , G02B 6/00

FI (3)：

G01D 5/26 D , G01K 11/12 F , G02B 6/00 B

F-Term (11)：

2F003AA04 , 2F003AA19 , 2F003AA21 , 2F003AC02 , 2F003AD01 , 2F056VF02 , 2F056VF12 , 2F056VF16 , 2F056VF20 , 2H038AA07 , 2H038BA25

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