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J-GLOBAL ID：200903008718056272

連続蒸着フィルムの製造方法

Inventor： 東 浩二 ,  清水 朗子 ,  菱沼 高広
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社
Agent (1)： 久保山 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998339439
Publication number (International publication number)：1999323552
Application date： Nov. 30, 1998
Publication date： Nov. 26, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 、蒸着により得られる無機誘電体層を用いた光学素子は非常に有用ではあるが、透明高分子フィルムを基板として用い、かつ無機誘電体層の厚みが数百Åから数μmの厚みまで、特に1000Åを越える厚みで作成できる量産性に優れた有効な方法を提供する。【解決手段】 非昇華性でかつ融点が1000°C以上である無機誘電体からなる蒸着材料を透明高分子フィルム8上へ連続蒸着する際、蒸着角度範囲を規定する防着板5と蒸着源7の間または/および防着板5と透明高分子フィルム8の間に蒸着源7からの輻射熱を防ぐ少なくとも1枚の冷却板6を配置して冷却効率を上げて製造する連続蒸着フィルムの製造方法。

Claim (excerpt)：

非昇華性でかつ融点が1000°C以上である無機誘電体からなる蒸着材料を透明高分子フィルム上へ連続蒸着する際、蒸着角度範囲を規定する防着板と蒸着源の間または/および防着板と透明高分子フィルムの間に蒸着源からの輻射熱を防ぐ少なくとも1枚の冷却板を配置して冷却効率を上げて製造する連続蒸着フィルムの製造方法。

IPC (8)：

C23C 14/56 ,  C23C 14/08 ,  G02B 5/30 ,  G09F 9/35 320 ,  B32B 9/00 ,  C08J 7/06 CEP ,  C08J 7/06 CEZ ,  G02F 1/1335 510

FI (8)：

C23C 14/56 D ,  C23C 14/08 K ,  G02B 5/30 ,  G09F 9/35 320 ,  B32B 9/00 A ,  C08J 7/06 CEP Z ,  C08J 7/06 CEZ Z ,  G02F 1/1335 510