Pat

J-GLOBAL ID：200903008727157537

電子顕微鏡装置

Inventor： 米原 勝久 ,  勝田 禎治 ,  松井 功
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993263757
Publication number (International publication number)：1995122220
Application date： Oct. 21, 1993
Publication date： May. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 電子顕微鏡装置において、同一視野の異種の走査電子線像を同時に検出し、観察・記録用モニタCRT画面上にリアルタイムで同時表示する。【構成】 試料3上を電子線1が走査することによって得られる異種の走査電子線像、例えば、明視野像と暗視野像の画像信号を結像系レンズ部7に設けた複数の検出器8a,8b、光学変調素子21a,21b、ライトガイド10及び光電子増倍管11で構成された画像信号分離検出部16を用いて、分離して取り出し、観察用モニタCRT14画面上にリアルタイムで同時表示して、画像観察及び記録を行う。

Claim (excerpt)：

電子銃と、照射系と、電子線走査手段と、試料室と、結像系レンズ部と、検出部と、画像表示用モニタとを有する電子顕微鏡装置において、前記検出部は光軸方向に多段に設置した異種の走査電子線像検出器と画像信号分離手段とを備え、前記試料室に設置された試料面上を電子線が走査するとき前記異種の走査電子線像検出器から得られる同一視野の異種の走査電子線像を前記画像信号分離手段により分離し、前記画像表示用モニタにリアルタイムで同時表示することを特徴とする電子顕微鏡装置。

IPC (3)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/244