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J-GLOBAL ID：200903008767475930

波面収差測定方法及び波面収差測定装置

Inventor： 杉崎 克己 ,  朱 郁葱 ,  玄間 隆志 ,  村上 勝彦
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 渡部 温 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002057298
Publication number (International publication number)：2003254725
Application date： Mar. 04, 2002
Publication date： Sep. 10, 2003
Summary：

【要約】【課題】 ピンホール干渉法による波面収差測定において、ピンホールの径に対する制約を緩和することにより、光源の輝度に対する要求を緩和すると共に、測定精度を向上させる。【解決手段】 微小なピンホール3aに照明光を当て、該ピンホール3aから発せられる球面波L2を被検光学系6に照射し、該被検光学系6から出射される光をシアリング干渉させ、その干渉縞を測定することにより上記被検光学系6の波面収差を測定する。この際、上記球面波L2を上記被検光学系6の手前で分割して別途シアリング干渉させ、その干渉縞を測定することにより上記球面波そのものの波面収差を測定し、その測定結果を用いて上記被検光学系6の波面収差測定結果を較正する。

Claim (excerpt)：

微小なピンホールに照明光を当て、該ピンホールから発せられる球面波を被検光学系に照射し、該被検光学系から出射される光をシアリング干渉させ、その干渉縞を測定することにより前記被検光学系の波面収差を測定する方法であって、前記球面波を前記被検光学系の手前で分割して別途シアリング干渉させ、その干渉縞を測定することにより前記球面波そのものの波面収差を測定し、その測定結果を用いて前記被検光学系の波面収差測定結果を較正する、ことを特徴とする波面収差測定方法。

F-Term (12)：

2F065AA53 ,  2F065BB25 ,  2F065CC21 ,  2F065DD03 ,  2F065FF53 ,  2F065GG22 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL19 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065PP11