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J-GLOBAL ID:200903008768461976
外観検査装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴木 正剛
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993083808
Publication number (International publication number):1994273339
Application date: Mar. 19, 1993
Publication date: Sep. 30, 1994
Summary:
【要約】【目的】 被検査物の各面の画像を一方向から同時に確認できる外観検査装置を提供する。【構成】 第一のステージ5により定位置に保持された被検査物2の各面の画像を、第一〜第四の反射鏡3、4、6、7によって受像部1に集約させる。これにより、センサを複数設置したり、被検査物2を回転させる等の処理をすることなく、被検査物2の各面の画像を一方向から同時に視認できるようにした。
Claim (excerpt):
被検査物の外観を検査する装置であって、前記被検査物を定位置に保持する保持手段と、前記保持された被検査物の各面の画像を所定方向に集約する集約手段と、前記集約された画像が投影される受像手段と、を有することを特徴とする外観検査装置。
IPC (3):
G01N 21/84
, G06F 15/62 400
, G06F 15/64
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