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J-GLOBAL ID：200903008779204720

導波路装置及びその作製方法

Inventor： 瀬村 滋
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992055392
Publication number (International publication number)：1993257019
Application date： Mar. 13, 1992
Publication date： Oct. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 作業性が良く精度が高い光軸合わせを可能にする導波路装置。【構成】 導波路装置10の端面には、Si基板2上に形成した導波路部分4aの端面が露出している。また、一対のV溝2aは、予めV溝2aの表面にガラス微粒子層の堆積を防止する表面処理を施してこの精度が維持されている。コネクタ20はSi基板を加工したもので、その表面には光ファイバ22が導波路部分4aと同間隔で固定されている。このコネクタ20側にも一対のV溝26が形成されている。導波路装置10のV溝2aからコネクタ20のV溝26にかけて一対のガイドピンを通す。これらのガイドピンに対して導波路装置10とコネクタ20を機械的に押し付けると、導波路装置10の導波路部分4aの端面とコネクタ20のファイバの端面の結合において精度の高い光軸合わせが可能になる。

Claim (excerpt)：

基板上に形成されるとともに導波路形成材料の堆積を制限する表面処理が施された調心用溝と、当該調心用溝の領域を除いた前記基板上の領域に堆積した導波路形成材料から形成した導波路と、を備える導波路装置。

IPC (2)：

G02B 6/12 ,  G02B 6/30