レーザーマイクロジセクション方法および装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊藤武久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001265864
Publication number (International publication number)：2002156316
Application date： Sep. 03, 2001
Publication date： May. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】レーザーマイクロジセクション方法及び装置において、試料観察・検査領域を試料から合目的に切り離すことができ、試料観察・検査領域の折り返しを阻止する前記方法および装置を提供する。【解決手段】方法において、a)試料観察・検査領域(23)を取り囲みウェブ(26,27,28)により中断されている切断線(25)に沿ってレーザー光線(7)によりウェブ(26,27,28)を含むパーフォレーションを形成するステップであって、パーフォレーションが、切断線(25)を中断させている少なくとも2つのウェブ(26,27,28)を有し、これらのウェブが、試料観察・検査領域(23)を、該観察・検査領域を取り囲んでいる試料(4)と接続させている前記ステップと、b)試料観察・検査領域(23)に指向されデフォーカスされた1つのレーザーパルスによりパーフォレーションのウェブ(26,27,28)を切除して、試料観察・検査領域(23)を試料(4)から切り離すステップとを含んでいる。

Claim (excerpt)：

試料ホールダ(3)に取り付けられている試料(4)の試料観察・検査領域(23)をレーザーマイクロジセクションする方法において、a)試料観察・検査領域(23)を取り囲みウェブ(26,27,28)により中断されている切断線(25)に沿ってレーザー光線(7)によりウェブ(26,27,28)を含むパーフォレーションを形成するステップであって、パーフォレーションが、切断線(25)を中断させている少なくとも2つのウェブ(26,27,28)を有し、これらのウェブが、試料観察・検査領域(23)を、該観察・検査領域を取り囲んでいる試料(4)と接続させている前記ステップと、b)試料観察・検査領域(23)に指向されデフォーカスされた1つのレーザーパルスによりパーフォレーションのウェブ(26,27,28)を切除して、試料観察・検査領域(23)を試料(4)から切り離すステップと、を含んでいることを特徴とする方法。

IPC (3)：

G01N 1/04 , G01N 1/28 , G01N 33/48

FI (6)：

G01N 1/04 G , G01N 1/04 H , G01N 1/04 X , G01N 33/48 S , G01N 33/48 T , G01N 1/28 F

F-Term (26)：

2G045FA12 , 2G045FA16 , 2G045FA19 , 2G045HA06 , 2G045HA09 , 2G045JA01 , 2G045JA07 , 2G045JA20 , 2G052AA28 , 2G052AD14 , 2G052AD34 , 2G052AD54 , 2G052BA15 , 2G052CA03 , 2G052CA08 , 2G052DA07 , 2G052EC17 , 2G052FD04 , 2G052FD05 , 2G052FD20 , 2G052GA11 , 2G052GA32 , 2G052HB06 , 2G052HC04 , 2G052HC34 , 2G052JA06

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