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J-GLOBAL ID：200903008863854225
ビニルフェノール共重合体の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994255811
Publication number (International publication number)：1995233222
Application date： Oct. 20, 1994
Publication date： Sep. 05, 1995
Summary：
【要約】【構成】 エチルフェノールの存在下にビニルフェノールをラジカル共重合することを特徴とするビニルフェノール共重合体の製造方法。【効果】 本発明の製造方法で副生物が少なくかつ収率良く製造されたビニルフェノール共重合体を化学増幅型レジストの樹脂成分として用いると、該レジストは良好な微細パターンを形成すると共に優れた解像度を有する。
Claim (excerpt)：
エチルフェノールの存在下にビニルフェノールをラジカル共重合することを特徴とするビニルフェノール共重合体の製造方法。
IPC (3)：
C08F212/14 MJY
, C08F 2/44 MCR
, C08F220/18 MLZ
