窒化アルミニウム焼結体及びその用途

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997114528
Publication number (International publication number)：1998310475
Application date： May. 02, 1997
Publication date： Nov. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】ヒートサイクルに対する耐久性の大なる大電力モジュール基板の製造に好適な、表面平滑性が高くしかも曲げ強度の高い窒化アルミニウム焼結体を量産良く製造すること。【解決手段】イットリウム化合物を含有する窒化アルミニウム焼結体において、X線回折で確認されるイットリウム化合物のピーク強度比が、 0.01≦ Y3Al5O12(400 面) /AlN(101 面) ≦0.06 0.03≦ YAlO3(121 面) /AlN(101 面) ≦0.10であり、しかも触針式粗さ計で測定した平均表面粗さRaが0.6μm以下で、曲げ強度が40kg/mm2 以上であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。この窒化アルミニウム焼結体を基板として用い、その表面に金属回路を形成させた回路基板。

Claim (excerpt)：

イットリウム化合物を含有する窒化アルミニウム焼結体において、X線回折で確認されるイットリウム化合物のピーク強度比が、 0.01≦ Y3Al5O12(400 面) /AlN(101 面) ≦0.06 0.03≦ YAlO3(121 面) /AlN(101 面) ≦0.10であり、しかも触針式粗さ計で測定した平均表面粗さRaが0.6μm以下で、曲げ強度が40kg/mm2 以上であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。

IPC (2)：

C04B 35/581 , H05K 1/03 610

FI (2)：

C04B 35/58 104 D , H05K 1/03 610 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

窒化アルミニウム焼結体及びそれを用いた接合体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-185849 Applicant：電気化学工業株式会社
特開平1-241849
特開平2-212365

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