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J-GLOBAL ID：200903008948729420

透明導電膜およびその製造方法

Inventor： 小長井 誠 ,  山田 明 ,  佐藤 一夫
Applicant, Patent owner： 小長井 誠 ,  旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993236636
Publication number (International publication number)：1995094024
Application date： Sep. 22, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【構成】基体1上に形成される酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜2であり、該透明導電膜2は、膜中に重水素を含有していることを特徴とする透明導電膜2およびその製造方法。【効果】低抵抗でありかつ表面形状のコントロールが可能であるため、太陽電池基板における表面凹凸の調整が可能になるとともに、全く平滑な膜も容易に得られるため従来困難であった表示素子や熱線遮断膜への応用も可能になる。

Claim (excerpt)：

基体上に形成される酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜であり、該透明導電膜は、膜中に重水素を含有していることを特徴とする透明導電膜。

IPC (5)：

H01B 5/14 ,  C01G 9/02 ,  C23C 16/40 ,  C30B 25/02 ,  H01B 13/00 503