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J-GLOBAL ID：200903008951768886
液中金属イオンの除去方法及び装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
櫻井 俊彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995031462
Publication number (International publication number)：1996197059
Application date： Jan. 27, 1995
Publication date： Aug. 06, 1996
Summary：
【要約】〔目的〕 エッチング液などの処理液中に含まれる金属イオンを除去するための安価な方法及び装置を提供する。〔構成〕 処理槽(11)に処理液を送るための樹脂製の送液管(13)の外側に電極対(16a,16b・・・) を配置し、この電極対間に直流電圧(16e) を印加する。
Claim (excerpt)：
処理槽に処理液を送るための樹脂製の送液管の外側に電極対を配置し、この電極対間に直流電圧を印加することを特徴とする液中金属イオンの除去方法。
IPC (5)：
C02F 1/461
, C23F 1/46
, C23G 1/36
, H01L 21/304 341
, H01L 21/3063
C02F 1/46 101 A
, H01L 21/306 L
