Pat

J-GLOBAL ID：200903008993860707

基板位置補正装置

Inventor： 徳島 忍
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 市村 健夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992195853
Publication number (International publication number)：1994020920
Application date： Jul. 01, 1992
Publication date： Jan. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 レチクル等の搬送時の位置ズレを検出し、ステージ受け渡し前に安全かつ確実に補正する。【構成】 CCDカメラ2a、2bで基板搬送部材上に保持された矩形の基板1のコーナーを所定の位置で撮像する。基板保持位置検出手段でCCDカメラ2a、2bからの信号を画像処理し、前記基板搬送部材上における基板1の保持位置を検出する。前記基板保持位置検出手段により検出した基板1の保持位置と前記搬送部材上に定めた基板1の適正保持位置との位置ずれ量を位置ずれ量算出手段で算出する。ステージ制御手段で基板1が位置決めステージに受け渡される前に、前記位置決めステージを初期位置から前記位置ずれ量に等しい移動量だけ移動し、この位置で基板1が前記位置決めステージに受け渡された後、前記位置決めステージを前記初期位置へ戻す。

Claim (excerpt)：

基板搬送部材上に保持された矩形の基板のコーナーを所定の位置で撮像する撮像手段と、前記撮像手段からの信号を画像処理し、前記基板搬送部材上における前記基板の保持位置を検出する基板保持位置検出手段と、前記基板保持位置検出手段により検出した前記基板の保持位置と前記搬送部材上に定めた前記基板の適正保持位置との位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段と、前記基板が位置決めステージに受け渡される前に、前記位置決めステージを初期位置から前記位置ずれ量に等しい移動量だけ移動し、この位置で前記基板が前記位置決めステージに受け渡された後、前記位置決めステージを前記初期位置へ戻すステージ制御手段と、を有することを特徴とする基板位置補正装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  B65H 9/00 ,  H01L 21/68 ,  B65H 7/08