Pat
J-GLOBAL ID：200903009029742513
ゾルゲル法による薄膜の作製方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
内田 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991178353
Publication number (International publication number)：1993023637
Application date： Jul. 18, 1991
Publication date： Feb. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】 本発明はゾルゲル法により薄膜を作成する方法に関する。【構成】 金属アルコキシドに水、アルコール、酸を加えることにより得られる加水分解溶液を基板上に付着せしめて薄膜を作製する方法において、該加水分解溶液を減圧下に保つことにより濃縮した後、基板上に付着せしめることを特徴とする。上記金属アルコキシドとしてはシリコン、ボロン、チタン、ゲルマニウムまたはアルミニウムのアルコキシドが挙げられる。これにより増粘剤等を使用せずに粘度を上げられるので、膜厚の厚いものを作成できる。
Claim (excerpt)：
金属アルコキシドに水、アルコール、酸を加えることにより得られる加水分解溶液を基板上に付着せしめて薄膜を作製する方法において、該加水分解溶液を減圧下に保つことにより濃縮した後、基板上に付着せしめることを特徴とする薄膜の作製方法。
IPC (2)：
Return to Previous Page
