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J-GLOBAL ID：200903009039041394

スリット共焦点顕微鏡とそれを用いた表面形状計測装置

Inventor： 石原 満宏
Applicant, Patent owner： 株式会社高岳製作所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999078060
Publication number (International publication number)：2000275027
Application date： Mar. 23, 1999
Publication date： Oct. 06, 2000
Summary：

【要約】【課題】 高速でかつ視野サイズの自由度が高く、かつ簡素な構造でコンパクトな共焦点顕微鏡と表面形状計測装置を提供する。【解決手段】 スリット開口によるスリット照明と一次元配列型検出器とを対物レンズの像面位置にビームスプリッタを介して配置し、光学系外部に機械的な走査機構を備える。

Claim (excerpt)：

物体の像を結像する対物レンズと、対物レンズと対物レンズの像面の間に配置されたビームスプリッタと、前記ビームスプリッタによってできる対物レンズの2つの像面の一方に設けられたスリット光源と、前記2つの像面のうち前記スリット光源とは別の像面に、前記スリット光源と光学的に等価な位置に設けられたスリット開口をもつ一次元配列型検出器とを有することを特徴とするスリット共焦点顕微鏡。

IPC (3)：

G01B 11/24 ,  G01B 9/04 ,  G02B 21/00

FI (3)：

G01B 11/24 K ,  G01B 9/04 ,  G02B 21/00

F-Term (40)：

2F064MM02 ,  2F064MM24 ,  2F064MM33 ,  2F064MM44 ,  2F065AA04 ,  2F065AA24 ,  2F065AA54 ,  2F065BB05 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF16 ,  2F065FF61 ,  2F065GG03 ,  2F065HH05 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ00 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL01 ,  2F065LL21 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL32 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ41 ,  2F065UU07 ,  2H052AA08 ,  2H052AB24 ,  2H052AC16 ,  2H052AC26 ,  2H052AD09 ,  2H052AD19 ,  2H052AF03 ,  2H052AF14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• レーザ顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-228295   Applicant：住友電気工業株式会社