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J-GLOBAL ID：200903009053178785

中性子反射鏡

Inventor： 秋山 貴之 ,  平木 信一 ,  新坂 俊輔
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995012245
Publication number (International publication number)：1996201595
Application date： Jan. 30, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】 本発明の目的は中性子スーパーミラーや中性子モノクロメーター等の中性子を反射する多層膜で構成される中性子反射鏡において、反射率が高い中性子反射鏡を得ることを目的とする。【構成】 本発明は、酸化チタンと、酸化ニッケルとを基板上に交互に成膜した。

Claim (excerpt)：

酸化チタンと、酸化ニッケルとを基板上に交互に成膜したことを特徴とする中性子反射鏡。

IPC (2)：

G21K 1/06 ,  G21K 1/00