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J-GLOBAL ID：200903009054303168

共焦点顕微鏡装置

Inventor： 田名網 健雄 ,  友定 伸浩
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999224323
Publication number (International publication number)：2001051200
Application date： Aug. 06, 1999
Publication date： Feb. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】オーバーシュートやハンチングが抑制され、測定時間範囲が拡大され、駆動回路の破損や対物レンズの試料への衝突が防止される共焦点顕微鏡装置を提供する。【解決手段】共焦点スキャナにより光ビームで試料面を走査すると共に移動機構により光ビームを光軸方向に走査して試料の3次元画像が得られるように構成してなる共焦点顕微鏡装置において、前記移動機構を駆動する駆動手段を備え、この駆動手段からは前記移動機構の変位の周波数特性の逆特性に基づいて補正された駆動波形が出力されるようにする。

Claim (excerpt)：

共焦点スキャナにより光ビームで試料面を走査すると共に移動機構により光ビームを光軸方向に走査して試料の3次元画像が得られるように構成してなる共焦点顕微鏡装置において、前記移動機構を駆動する駆動手段を備え、この駆動手段からは前記移動機構の変位の周波数特性の逆特性に基づいて補正された駆動波形が出力されるようにしたことを特徴とする共焦点顕微鏡。

F-Term (7)：

2H052AA08 ,  2H052AB01 ,  2H052AB04 ,  2H052AC15 ,  2H052AD06 ,  2H052AD31 ,  2H052AF14