液晶表示装置の製造方法及び製造装置及び液晶表示装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：作田康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000041379
Publication number (International publication number)：2001230419
Application date： Feb. 15, 2000
Publication date： Aug. 24, 2001
Summary：

【要約】【課題】アクティブマトリクス型液晶表示装置の信頼性を上げ、製品寿命を延ばす。【解決手段】画素もしくは周辺回路駆動用の薄膜トランジスタのゲート絶縁膜製造方法を、絶縁膜の成膜とそれに続く酸化性ガスによる絶縁膜の表面処理を交互に繰り返す方法にする。【効果】画素もしくは周辺回路駆動用薄膜トランジスタのゲート絶縁膜の純度が向上しかつ緻密化するので、薄膜トランジスタの信頼性が向上し、よって液晶表示装置の信頼性が向上し製品寿命が延びる。

Claim (excerpt)：

絶縁性基板上に作製され画素もしくは周辺回路を薄膜トランジスタで駆動するアクティブマトリクス型液晶表示装置の製造方法において、薄膜トランジスタのゲート絶縁膜の少なくとも一部の製造に、少なくとも珪素原子を有する分子からなるガスと酸化性ガスを原料として用い、絶縁膜の成膜とそれに続く酸化性ガスによる絶縁膜の表面処理を交互に繰り返す方法を用いた事を特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置の製造方法。

IPC (5)：

H01L 29/786 , H01L 21/336 , G02F 1/1368 , H01L 21/31 , H01L 21/316

FI (5)：

H01L 21/31 C , H01L 21/316 X , H01L 21/316 P , H01L 29/78 617 V , G02F 1/136 500

F-Term (91)：

2H092JA25 , 2H092KA04 , 2H092KA12 , 2H092MA08 , 2H092MA30 , 2H092MA35 , 2H092NA11 , 5F045AA03 , 5F045AA06 , 5F045AA08 , 5F045AA10 , 5F045AA11 , 5F045AB32 , 5F045AC01 , 5F045AC02 , 5F045AC03 , 5F045AC08 , 5F045AC09 , 5F045AC11 , 5F045AC15 , 5F045AD07 , 5F045AE19 , 5F045AF03 , 5F045AF09 , 5F045BB17 , 5F045CA15 , 5F045DP03 , 5F045DQ10 , 5F045EE19 , 5F045EH03 , 5F045EH13 , 5F045EH17 , 5F045EK07 , 5F058BA20 , 5F058BB04 , 5F058BB07 , 5F058BC02 , 5F058BF03 , 5F058BF04 , 5F058BF05 , 5F058BF07 , 5F058BF09 , 5F058BF23 , 5F058BF24 , 5F058BF25 , 5F058BF29 , 5F058BF37 , 5F058BH03 , 5F058BJ01 , 5F058BJ02 , 5F110AA14 , 5F110BB01 , 5F110BB02 , 5F110CC02 , 5F110DD02 , 5F110DD13 , 5F110EE04 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF09 , 5F110FF10 , 5F110FF25 , 5F110FF29 , 5F110FF30 , 5F110FF31 , 5F110FF32 , 5F110FF33 , 5F110FF36 , 5F110GG01 , 5F110GG02 , 5F110GG03 , 5F110GG12 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110GG25 , 5F110GG35 , 5F110GG45 , 5F110HJ01 , 5F110HJ12 , 5F110HJ23 , 5F110HL06 , 5F110HL07 , 5F110HL23 , 5F110HM15 , 5F110NN02 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110PP03 , 5F110PP35 , 5F110QQ11

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