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J-GLOBAL ID：200903009122980750

半導体製造装置のネットワークシステム

Inventor： 安達 真 ,  藤城 雅隆 ,  池田 知樹 ,  塚田 和徳
Applicant, Patent owner： 国際電気株式会社
Agent (1)： 石戸 元
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994169698
Publication number (International publication number)：1996037157
Application date： Jul. 21, 1994
Publication date： Feb. 06, 1996
Summary：

【要約】【目的】 多数の装置接続時にも高速通信ができ、従制御装置の増設,拡張を充分に可能とし、ケーブルの取り回しが容易で、保守作業等を容易にする。【構成】 主制御装置3のLANインターフェイスボード7と複数の従制御装置4の各LANインターフェイス10との間をネットワーク基幹線8で接続し、かつ両装置3,4間のネットワーク通信を制御ソフトウェアで実現することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

主制御装置と圧力,温度制御装置など複数の従制御装置との間でデータ交換を行い、ウェーハに成膜等の処理をする半導体製造装置において、主制御装置と各従制御装置間の通信を実現するネットワーク施設と制御ソフトウェアを使用することを特徴とする半導体製造装置のネットワークシステム。

IPC (2)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/02