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J-GLOBAL ID：200903009144719649

各種マスクの形成工程におけるレジスト膜画像の除去方法、及びこれに用いる接着剤あるいは接着シート類

Inventor： 並河 亮 ,  木原 康夫 ,  相澤 馨 ,  下段 秀明
Applicant, Patent owner： 日東電工株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992294438
Publication number (International publication number)：1994151299
Application date： Nov. 02, 1992
Publication date： May. 31, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、例えば、薄膜回路用蒸着マスク等の各種マスクの製造時における画像を形成する工程において、マスク形成用金属材上の不要となったレジスト膜からなる画像を除去する方法、及びこれに用いる硬化型感圧接着剤、あるいはそのシート状物、テープ状物などの接着シート類を提供する。【構成】 各種マスクの製造時における画像を形成する工程において、マスク形成用金属材に設けられたレジスト膜からなる画像の上面に、硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類を貼り付け、上記接着剤の硬化後に、この接着シート類とレジスト材とを一体に剥離して、金属材上のレジスト膜画像を除去する。

Claim (excerpt)：

各種マスクの形成工程において、マスク形成用金属材上に設けられたレジスト材からなる画像の上面に、硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類を貼り付け、上記接着剤の硬化後に、この接着シート類とレジスト材とを一体に剥離して、金属材上のレジスト膜画像を除去することを特徴とする、各種マスクの形成工程におけるレジスト膜画像の除去方法。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/42