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J-GLOBAL ID：200903009162404906

走査型光学顕微装置

Inventor： 河田 聡 ,  井上 康志 ,  杉浦 忠男
Applicant, Patent owner： 有限会社千里応用計測研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992286046
Publication number (International publication number)：1994137847
Application date： Oct. 23, 1992
Publication date： May. 20, 1994
Summary：

【要約】【目的】波長による光の回折限界を超えた分解能を有する光学顕微鏡を実現する。【構成】試料の微細構造により生じたエバネッセント光の場に先端の鋭いプローブを挿入し、エバネッセント光とプローブ間の相互作用により生じた散乱光を検出することで試料の微細構造を計測することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

針状のプローブを被試験試料表面近傍で2次元あるいは3次元に走査し、試料面上近傍に光によって形成される光の場と、本プローブとの相互作用を光電検出することによって、被試験試料の表面形状を測定する走査型光学顕微装置において、前記試料とその上の媒体との屈折率で決まる臨界角より大きな入射角で試料裏面より試料を照射する照明光学系と、前記試料を2次元ないし3次元に走査する走査機構と、前記試料表面近傍に配置した針状のプローブと、前記プローブ先端からの散乱光を集光する集光光学系とを有することを特徴とする走査型光学顕微装置。

IPC (6)：

G01B 11/30 102 ,  G01B 11/24 ,  G02B 27/56 ,  G02B 27/58 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30