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J-GLOBAL ID：200903009165039230

紫外線露光装置

Inventor： 鈴木 良和
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 山内 梅雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991153467
Publication number (International publication number)：1993003141
Application date： Jun. 25, 1991
Publication date： Jan. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 光源部のスペクトル幅の狭帯化および保守の簡便化を図る。【構成】 本紫外線露光装置は、単一縦モード発振のLD励起Nd:YAGレーザ発振器1を有しており、この発振器1の波長809nmのレーザダイオードによりNd:YAG結晶を効率よく励起するようになっている。また、単一縦モード発振の基本波を種として第2高調波が得られる内部高調波発振のNd:YAGレーザ発振器2を有しており、この発振器2の内部にはNd:YAGレーザの波長1.064μmを2逓倍するため非線形結晶3が配置されている。レーザ発振器2より得られるレーザ光はこの非線形結晶3により波長が1/2の532nmでスペクトル幅が基本波の2倍程度、レーザ出力数W以上の大きな出力を得ることが可能となる。このレーザ光を非線形結晶6でさらに1/2波長に変換し、得られた波長266nmのレーザ光を露光用の光源として利用している。

Claim (excerpt)：

単一縦モード発振の基本波が得られるLD励起固体レーザ発振器と、この基本波を種として第2高調波が得られる内部高調波発振固体レーザ発振器と、第2の高調波をさらに逓倍し、基本波長の第4高調波あるいは第5高調波を得るための非線形結晶を用いた光源部を具備したことを特徴とする紫外線露光装置。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/0933 ,  H01S 3/109

FI (2)：

H01L 21/30 311 L ,  H01S 3/091 S