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J-GLOBAL ID：200903009194502837
走査型プローブ顕微鏡
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996167998
Publication number (International publication number)：1998019908
Application date： Jun. 27, 1996
Publication date： Jan. 23, 1998
Summary：
【要約】【課題】 試料表面の親水性疎水性の分布をナノメータの分解能で測定する。【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡において,試料周囲の湿度を高真空状態から飽和水蒸気量になるまでを含めて正確に制御できるようにし、低湿度の状態で測定した摩擦力像と同一場所で高湿度の状態で測定した摩擦力像を比較することによって、この試料表面の親水性疎水性の分布を測定する。
Claim (excerpt)：
試料を探針に対して近づける手段と,試料を探針に対して走査する手段と試料の表面情報を探針の変位として検出する検出手段とを具備する走査型プローブ顕微鏡において,試料周囲の湿度を高真空状態から飽和水蒸気量になるまでを含めて制御できるようにし、低湿度の状態で測定した摩擦力像と同一場所で高湿度の状態で測定した摩擦力像を比較することによって、この試料表面の親水性疎水性の分布を測定することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 H
, G01B 21/30 Z
