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J-GLOBAL ID：200903009231126263

銅のβ-ジケトネート錯体の製造方法

Inventor： 町田 英明 ,  国分 宏
Applicant, Patent owner： 株式会社トリケミカル研究所
Agent (1)： 宇高 克己
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995046821
Publication number (International publication number)：1996245639
Application date： Mar. 07, 1995
Publication date： Sep. 24, 1996
Summary：

【要約】【目的】 HfaCu(I)・Lと言った1価の銅の錯体(銅のβ-ジケトネート錯体)の高純度品を低廉なコストで提供することを目的とする。【構成】 銅のβ-ジケトネート錯体の製造方法であって、Cu2O、1,1,1,5,5,5-Hexafluoro-2,4-pentanedione 、及び電子供与性の付加体Lを混合し、反応させる第1工程と、前記第1工程の反応と同時、及び/又は反応後直ちに脱水処理を行う第2工程とを具備する銅のβ-ジケトネート錯体の製造方法。

Claim (excerpt)：

銅のβ-ジケトネート錯体の製造方法であって、Cu2O、1,1,1,5,5,5-Hexafluoro-2,4-pentanedione 、及び電子供与性の付加体Lを混合し、反応させる第1工程と、前記第1工程の反応と同時、及び/又は反応後直ちに脱水処理を行う第2工程とを具備することを特徴とする銅のβ-ジケトネート錯体の製造方法。

IPC (3)：

C07F 1/08 ,  C23C 16/18 ,  H01L 21/285

FI (3)：

C07F 1/08 B ,  C23C 16/18 ,  H01L 21/285 C