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J-GLOBAL ID：200903009273597878

基板搬送方法

Inventor： 武村 典美 ,  吉川 勇希
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 田辺 恵基
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996073287
Publication number (International publication number)：1997246352
Application date： Mar. 04, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】本発明は基板搬送方法に関し、露光ステージの移動を抑えて不要な移動時間を削除し、露光装置のスループツトを向上し得るようにする。【解決手段】露光ステージ(5)の可動範囲内の所望位置に対して基板保持部(6E、7E)を自由に移動し得る第1及び第2のロボツトアーム(6、7)を設け、基板搬入時には、露光開始位置にある露光ステージの位置情報を露光装置から受け、該位置情報で示される位置に第1のロボツトアームの基板保持部を移動して基板搬入し、基板搬出時には、露光終了位置にある露光ステージの位置情報を露光装置から受け、該位置情報で示される位置に第2のロボツトアームの基板保持部を移動して基板搬出するようにしたことにより、露光ステージの余分な移動を抑えて不要な移動時間を削除し、露光装置のスループツトを向上し得る。

Claim (excerpt)：

基板に所定パターンを露光する露光装置に設けられている水平面内の所定範囲を自由に移動し得る露光ステージに対して前記基板を搬入又は搬出する基板搬送方法において、アーム先端部に前記基板を保持し得る基板保持部を有し、かつ該基板保持部を前記露光ステージの可動範囲内の所望位置に対して自由に移動し得る第1及び第2のロボツトアームを設け、露光対象の前記基板を前記露光ステージ上に搬入する場合には、露光開始位置にある前記露光ステージの位置情報を前記露光装置から受け、該位置情報で示される位置に対して露光対象の前記基板を保持している前記第1のロボツトアームの前記基板保持部を移動することにより、露光対象の前記基板を前記露光ステージ上に搬入し、露光終了後の前記基板を前記露光ステージ上から搬出する場合には、露光終了位置にある前記露光ステージの位置情報を前記露光装置から受け、該位置情報で示される位置に対して前記第2のロボツトアームの基板保持部を移動することにより、露光終了後の前記基板を前記露光ステージから受け取つて該露光ステージ上から搬出することを特徴とする基板搬送方法。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4)：

H01L 21/68 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 514 D