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J-GLOBAL ID：200903009282329070

原子間力顕微鏡用カンチレバーとその製造方法

Inventor： 伊藤 順司 ,  當間 康
Applicant, Patent owner： 工業技術院長 ,  株式会社荏原総合研究所
Agent (2)： 熊谷 隆 (外2名) ,  熊谷 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993261480
Publication number (International publication number)：1995092173
Application date： Sep. 24, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 先端が鋭利でアスペクト比の高い急峻な形状の探針と、常に一定のバネ定数を有しながらその一端に探針を支える片持つ梁を具備する原子間力顕微鏡用カンチレバー及びそ製造方法を提供すること。【構成】 充分な機械的強度を有するシリコン単結晶母材11と、母材に一端が接合されたシリコン酸化膜からなる片持ち梁12と、該片持ち梁12上の母材11に接合された一端とは反対側の一端に形成された鋭い先端を有するコーン形探針とを具備し、且つ全表面が導電性薄膜で覆われている。また、片持ち梁を両側から囲むように母材から加工され且つ充分な強度を有する片持ち梁を機械的破損から防ぐための保護板を具備する。

Claim (excerpt)：

充分な機械的強度を有するシリコン単結晶母材と、該母材に一端が接合されたシリコン酸化膜からなる片持ち梁と、該片持ち梁上の前記母材に接合された一端とは反対側の一端に形成された鋭い先端を有するコーン形探針とを具備し、且つ全表面が導電性薄膜で覆われていることを特徴とする原子間力顕微鏡用カンチレバー。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28