Pat

J-GLOBAL ID：200903009328619159

スクリーンモニタ装置

Inventor： 高橋 光幸
Applicant, Patent owner： 石川島播磨重工業株式会社
Agent (1)： 山田 恒光 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995327191
Publication number (International publication number)：1997167700
Application date： Dec. 15, 1995
Publication date： Jun. 24, 1997
Summary：

【要約】【課題】 スクリーンの角度を自由に調整し得るようにする。【解決手段】 真空チェンバ11とスクリーン出入機構53との間に介装された角度調整装置28を用いてナット39〜42と長ボルト38によるブラケット36,37に対する挾持位置を調整することによりスクリーン52の角度調整を簡単に行わせることができる。

Claim (excerpt)：

電子を通過させるようにした真空チェンバの適宜位置に、角度調整装置を介して、電子を衝突させて位置をモニタするためのスクリーンを突出収納可能に備えたスクリーン出入機構を取付けたことを特徴とするスクリーンモニタ装置。