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J-GLOBAL ID:200903009363341937
表面官能基の検出方法及び検出装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
石田 敬
, 鶴田 準一
, 福本 積
, 西山 雅也
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002216954
Publication number (International publication number):2004061179
Application date: Jul. 25, 2002
Publication date: Feb. 26, 2004
Summary:
【課題】迅速かつ簡便にXPSにより表面官能基を検出する。【解決手段】材料表面に存在する官能基の検出方法において、真空チャンバー内に配置した被検出材料の表面に、この表面上の検出しようとする官能基とのみ反応する化合物のガスを噴霧して前記官能基と化合物とを反応させ、次いで大気にさらすことなく被検出材料の表面にX線を照射してX線光電子分光分析法(XPS)により前記官能基と化合物の反応体を検出する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
材料表面に存在する官能基の検出方法であって、真空チャンバー内に配置した被検出材料の表面に、この表面上の検出しようとする官能基とのみ反応する化合物のガスを噴霧して前記官能基と化合物とを反応させ、次いで大気にさらすことなく被検出材料の表面にX線を照射してX線光電子分光分析法(XPS)により前記官能基と化合物の反応体を検出することを含む、官能基の検出方法。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (9):
2G001AA01
, 2G001BA08
, 2G001CA03
, 2G001KA01
, 2G001LA05
, 2G001QA01
, 2G001RA02
, 2G001RA03
, 2G001RA20
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