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J-GLOBAL ID：200903009419083820

光アイソレータの作製方法

Inventor： 橋間 学
Applicant, Patent owner： 株式会社トーキン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993269734
Publication number (International publication number)：1995104215
Application date： Sep. 30, 1993
Publication date： Apr. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 メタル接合光アイソレータの特性・品質の劣化、更には生産性の低下を招いている問題を解決し、信頼性の高い光アイソレータを効率良く作製する方法を提供する。【構成】 ホルダと金属接合する光学素子の表面に、スパッタリング法等の手段によって、予め下地層として第一層にCr膜、第二層にNi膜又はCo膜を、更に第三層に半田成分としてのAu-Sn合金膜を順次形成する。

Claim (excerpt)：

各構成部品を半田付けによって固定するメタル接合光アイソレータの作製方法において、支持材とメタル接合する光学素子の表面に、物理的蒸着法により、順次Cr膜、Ni膜、およびAu-Sn合金膜を形成して光学素子と支持材を接合することを特徴とする光アイソレータの作製方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 特開平3-179317
  
• 特開平3-259110
  
• 特開平3-035213