保持具及びこれに対する被加工物接合及び離脱方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小野尚純
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001247919
Publication number (International publication number)：2003053639
Application date： Aug. 17, 2001
Publication date： Feb. 26, 2003
Summary：

【要約】【課題】保持具(2)自体及びこれに対する被加工物の接合及び離脱方法を改良して、半導体ウエーハ(8)の如き板状被加工物を気泡を拘束することなく保持具の片面上に接合することができ、そしてまた被加工物に過剰の応力を生成せしめることなく保持具から被加工部を離脱せしめることを可能にする。【解決手段】ガラス転移温度以上に加熱されるとゴム状態になり、ガラス転移温度以下に冷却されるとガラス状態になる合成樹脂から保持具を形成する。保持具に対して被加工物を接合及び離脱する際には保持具をガラス転移温度以上に加熱してゴム状態にせしめる。

Claim (excerpt)：

片面上に板状被加工物を保持する板状保持具にして、ガラス転移温度よりも高温にせしめられるとゴム状態になり、ガラス転移温度よりも低温にせしめられるとガラス状態になる合成樹脂から形成されている、ことを特徴とする保持具。

IPC (5)：

B23Q 3/08 , B24B 37/04 , H01L 21/301 , H01L 21/304 622 , H01L 21/68

FI (5)：

B23Q 3/08 Z , B24B 37/04 E , H01L 21/304 622 J , H01L 21/68 N , H01L 21/78 M

F-Term (16)：

3C016DA13 , 3C016DA15 , 3C058AA02 , 3C058AA07 , 3C058AB04 , 3C058CB01 , 3C058DA17 , 5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA10 , 5F031HA12 , 5F031HA32 , 5F031MA22 , 5F031PA08 , 5F031PA09 , 5F031PA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平4-309583
ウエハ載置台及びウエハ裏面の処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-181996 Applicant：沖電気工業株式会社
特開昭62-267384

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