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J-GLOBAL ID：200903009448768751
多孔質ケイ素酸化物膜の製造法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996313668
Publication number (International publication number)：1998158012
Application date： Nov. 25, 1996
Publication date： Jun. 16, 1998
Summary：
【要約】【課題】 巨大粒子の生成などのない良質な多孔質ケイ素酸化物膜を簡便かつ速やかに製造する方法を提供する。【解決手段】 アルコキシシランとアミド結合を含有する有機ポリマーを溶媒に溶解し、酸を添加して部分的に加水分解した後、塩基触媒を添加して膜状に基板上に塗布し加水分解、脱水縮合を行った後、溶媒を蒸発させて得られた乾燥ゲルから有機ポリマーを除去する。
Claim (excerpt)：
アルコキシシランと、アミド結合を含有する有機ポリマーを溶媒に溶解し、酸を添加して部分的に加水分解した後、塩基触媒を添加して基板上に膜状に塗布し加水分解、脱水縮合を行い、その後に溶媒を蒸発させて得られた乾燥ゲルから有機ポリマーを除去することを特徴とする多孔質ケイ素酸化物膜の製造法。
IPC (2)：
FI (2)：
C01B 33/12 D
, C04B 38/06 G
