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J-GLOBAL ID:200903009448768751
多孔質ケイ素酸化物膜の製造法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996313668
Publication number (International publication number):1998158012
Application date: Nov. 25, 1996
Publication date: Jun. 16, 1998
Summary:
【要約】【課題】 巨大粒子の生成などのない良質な多孔質ケイ素酸化物膜を簡便かつ速やかに製造する方法を提供する。【解決手段】 アルコキシシランとアミド結合を含有する有機ポリマーを溶媒に溶解し、酸を添加して部分的に加水分解した後、塩基触媒を添加して膜状に基板上に塗布し加水分解、脱水縮合を行った後、溶媒を蒸発させて得られた乾燥ゲルから有機ポリマーを除去する。
Claim (excerpt):
アルコキシシランと、アミド結合を含有する有機ポリマーを溶媒に溶解し、酸を添加して部分的に加水分解した後、塩基触媒を添加して基板上に膜状に塗布し加水分解、脱水縮合を行い、その後に溶媒を蒸発させて得られた乾燥ゲルから有機ポリマーを除去することを特徴とする多孔質ケイ素酸化物膜の製造法。
IPC (2):
FI (2):
C01B 33/12 D
, C04B 38/06 G
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (9)
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球状中空多孔質シリカ粒子の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-053287
Applicant:工業技術院長
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特開昭59-102833
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球状微粒子の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-053387
Applicant:積水フアインケミカル株式会社
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無機多孔質体及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-280570
Applicant:株式会社関西新技術研究所
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特開平3-212451
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特開平3-088711
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ゾルゲル法による薄膜の作製方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-148610
Applicant:住友電気工業株式会社
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特開昭60-027611
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有機・無機複合透明均質体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-143522
Applicant:株式会社関西新技術研究所
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