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J-GLOBAL ID：200903009458027032
自動露光装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991181567
Publication number (International publication number)：1993006006
Application date： Jun. 27, 1991
Publication date： Jan. 14, 1993
Summary：
【要約】【目的】精度の高い露光焼付けを行なうことができ、また装置全体を小形に構成する。【構成】真空ステージの基板とマスクホルダーの位置合わせと、マスクフィルムの露光を同一の真空ステージで行なう。また露光時に真空ステージの凹溝の柔軟材を押圧してベルトコンベアーの上面と真空ステージの上面が同一になるように構成する。また真空ステージの長手方向の両端近傍に、凹溝の横幅より大きい柔軟材を施設する。
Claim (excerpt)：
XY軸方向に可動する仮位置合爪を有する真空ステージと、同真空ステージを矩形状に構成して覆い、且つ垂直方向にて上下動するように配置してなるベルトコンベアーと、真空ステージの上面に対し上下動し、真空ステージとの間を真空状態とし得るようにしてマスクホルダーと、真空ステージに支持してなる基板とマスクホルダーに支持してなるマスクフィルムの位置を合せる位置合カメラとを有し、前記真空ステージの基板とマスクホルダーの位置合せと、基板とマスクフィルムの露光を同一の真空ステージ上にて行なうように構成したことを特徴とする自動露光装置。
IPC (2)：
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