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J-GLOBAL ID：200903009466403582

電子線エネルギー吸収スペクトル測定方法

Inventor： 桂川 忠雄
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 柏木 明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992172438
Publication number (International publication number)：1994018452
Application date： Jun. 30, 1992
Publication date： Jan. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 軽元素に対しても適用可能であり、かつ、基板付き試料であっても最表面の数原子層の原子、電子構造評価を適切に行い得るようにすること。【構成】 エネルギーを10eVステップ以内で変化させながら電子線7を試料9に対して極めて低い入射角で入射させ、この試料9表面から反射される電子線7の強度を検出器10により計測することにより試料9による電子線エネルギーの吸収を測定するようにした。

Claim (excerpt)：

エネルギーを10eVステップ以内で変化させながら電子線を試料に対して極めて低い入射角で入射させ、この試料表面から反射される電子線の強度を検出器により計測することにより前記試料による前記電子線エネルギーの吸収を測定するようにしたことを特徴とする電子線エネルギー吸収スペクトル測定方法。