Pat

J-GLOBAL ID：200903009468343900

ガスレーザ発振装置

Inventor： 大石 高志
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 則近 憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992234006
Publication number (International publication number)：1994085350
Application date： Sep. 02, 1992
Publication date： Mar. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 レーザガスの流速および濃度を安定にして、安定なレーザビームを得ることが可能なガスレーザ発振装置を提供する。【構成】 放電電極(7a,7b)近傍の壁面にレーザガスの流れ方向に沿って複数個の空洞部を設ける。

Claim (excerpt)：

レーザガスが封入されたガスレーザ本体と、このガスレーザ本体内部にレーザガスを循環させる送風手段と、循環されるレーザガスを冷却する冷却手段と、前記レーザガスの循環流路に設けられ且つ放電が行われる部分を残して基盤に埋設された陽極と陰極とからなる一対の放電電極と、該放電電極へのレーザガス流入口の直前に設けられた縮流路と、前記放電電極からのレーザガス流出口に設けられた拡大路を有する放電部とを具備したガスレーザ発振器において、放電電極近傍の壁面にレーザガスの流れ方向に沿って複数個の空洞部を設けたことを特徴とするガスレーザ発振装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-076178
  
• 特開平3-278488
  
• 特開平4-129283