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J-GLOBAL ID：200903009478467284
変位測定方法及びそれを用いた変位測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
篠原 泰司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994024451
Publication number (International publication number)：1995229713
Application date： Feb. 22, 1994
Publication date： Aug. 29, 1995
Summary：
【要約】【目的】 単一のマイケルソン型干渉系を用いて、正確且つ高速に変位測定が行なえ、また装置を簡素化し且つ安価に得られるようにした変位測定方法及びそれを用いた装置を提供すること。【構成】 光導波路基板3には3dBカプラ5と位相変調基板20が形成されている。レーザダイオード1の光は2分割され反射鏡8からは参照光が、また被測定物13からは測定光が夫々3dBカプラ5へ戻って干渉する。干渉光は、DAコンバータ21,アナログスイッチ22,発振器23によって時分割されており、光検出用ダイオード15で電気信号に変換される。コンパレータ18の信号は発振器23に同期され二つのサンプル・ホールド回路24とインバータ25により信号L′とR′に分離され、フリンジ計測される。
Claim (excerpt)：
同一光源のレーザ光を測定光と参照光とに分割して該測定光を被測定物に照射し、該被測定物から反射され該参照光との光路差の変化によって位相変化の生じた該測定光を該参照光と干渉させ、得られた干渉光をフリンジ計測して該被測定物の表面の微小変位と移動方向を測定する方法において、該参照光と該測定光との干渉系を1系統とし、該参照光と該測定光の何れか一方或いは両方に時分割の位相変調を加え、得られた干渉光を時分割にてフリンジ計測することを特徴とした変位測定方法。
IPC (5)：
G01B 11/00
, G01B 9/02
, G01N 21/88
, G02B 6/30
, G02F 1/035
