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J-GLOBAL ID：200903009494908576
計測装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991202399
Publication number (International publication number)：1993005610
Application date： Jul. 17, 1991
Publication date： Jan. 14, 1993
Summary：
【要約】【目的】 3次元物体の形状を干渉を利用して高精度に検出するようにした計測装置を得ること。【構成】 被測定物の被測定部上に可干渉性の光を照射するための照明手段と、前記照明手段によって光照射された被測定部の各々の点からの光を参照となる光と干渉させる干渉手段と、前記各々の点からの光の干渉情報を順次検出する干渉情報検出手段と、前記干渉情報検出手段による検出中の前記被測定部の傾き変動情報を検出する傾き変動情報検出手段と、前記干渉情報検出手段と傾き変動情報検出手段の検出結果に基づいて前記被測定部の光に与える波面収差の情報を検出する波面収差情報検出手段とを有すること。
Claim (excerpt)：
被測定物の被測定部上に可干渉性の光を照射するための照明手段と、前記照明手段によって光照射された被測定部の各々の点からの光を参照となる光と干渉させる干渉手段と、前記各々の点からの光の干渉情報を順次検出する干渉情報検出手段と、前記干渉情報検出手段による検出中の前記被測定部の傾き変動情報を検出する傾き変動情報検出手段と、前記干渉情報検出手段と傾き変動情報検出手段の検出結果に基づいて前記被測定部の光に与える波面収差の情報を検出する波面収差情報検出手段とを有することを特徴とする計測装置。
IPC (4)：
G01B 11/24
, G01B 9/02
, G01J 9/02
, G01M 11/00
