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J-GLOBAL ID：200903009499619572

セラミツクセツターの製造方法

Inventor： 吉井 隆裕 ,  竹口 英樹 ,  吉田 將展
Applicant, Patent owner： 株式会社タクマ ,  輝化学工業株式会社
Agent (1)： 中尾 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991233092
Publication number (International publication number)：1993070264
Application date： Sep. 12, 1991
Publication date： Mar. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 セラミックファイバの特徴を生かしたセラミックセッターの製造方法である。【構成】 3〜20重量%のセラミックファイバと、15〜60重量%のアルミナ質粉末と、30〜70重量%の熱膨張率が3×10-6/°Cを越えない無機質低膨脹率粉末と、0.1〜5重量%のマグネシア粉末と、2〜20重量%の水溶性または水分散性の高分子化合物との混合物を含む抄造原料液を抄造した後、得られた湿板を乾燥して焼成原板とし、この焼成原板を1000°C以上の高温度で焼成する。得られたセラミックセッターは、強度が大きく、耐熱性があって、スポーリングに耐え、軽く、薄く、経済性が高い。大きなセッターを容易に製造できるので、これを切断し、一度に多数の小さなセッターを能率よく製造することもできる。

Claim (excerpt)：

3〜20重量%のセラミックファイバと、15〜60重量%のアルミナ質粉末と、30〜70重量%の熱膨張率が3×10-6/°Cを越えない無機質低膨脹率粉末と、0.1〜5重量%のマグネシア粉末と、2〜20重量%の水溶性または水分散性の高分子化合物との混合物を含む抄造原料液を抄造した後、得られた湿板を乾燥して焼成原板とし、この焼成原板を少なくとも1000°Cの高温度で焼成することを特徴とするセラミックセッターの製造方法。

IPC (3)：

C04B 38/00 304 ,  C04B 35/64 ,  C04B 35/80