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J-GLOBAL ID：200903009519244120

ネガ型感光性組成物

Inventor： 田中 康裕 ,  鳥羽 泰正 ,  安池 円
Applicant, Patent owner： 東洋インキ製造株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995121021
Publication number (International publication number)：1996314138
Application date： May. 19, 1995
Publication date： Nov. 29, 1996
Summary：

【要約】【目的】高感度なフォトレジスト材料として好適に用いられるネガ型感光性組成物を提供することを目的とする。【構成】溶媒現像が可能な高分子重合体(A)、ラジカル重合可能なエチレン性不飽和結合を有する化合物(B)、光重合開始剤系(C)からなる感光性組成物において、該光重合開始剤系(C)が、特定の構造を有する(オキソ)スルホニウム有機ホウ素錯体(イ)と(チア)ピリリウム誘導体(ロ)からなることを特徴とするネガ型感光性組成物。

Claim (excerpt)：

溶媒現像が可能な高分子重合体(A)、ラジカル重合可能なエチレン性不飽和結合を有する化合物(B)および光重合開始剤系(C)からなる感光性組成物において、該光重合開始剤系(C)が、下記一般式(1)で表される(オキソ)スルホニウム有機ホウ素錯体(イ)と、下記一般式(2)で表される(チア)ピリリウム誘導体(ロ)からなることを特徴とするネガ型感光性組成物。【化1】〔式中、R1 は、ベンジル基、置換されたベンジル基、フェナシル基、置換されたフェナシル基、アリールオキシ基、置換されたアリールオキシ基、アルケニル基、置換されたアルケニル基から選ばれる基を表し、R2 およびR3 は、それぞれ独立に、R1 を構成できる基と同じ基か、またはアルキル基、置換されたアルキル基、アリール基、置換されたアリール基、アラルキル基、置換されたアラルキル基、アルキニル基、置換されたアルキニル基、脂環基、置換された脂環基、アルコキシ基、置換されたアルコキシ基、アルキルチオ基、置換されたアルキルチオ基、アミノ基、置換されたアミノ基、またはR2 とR3 が相互に結合した環状構造を表し、R4 は酸素原子または孤立電子対を表し、R5 ,R6 ,R7 およびR8 は、それぞれ独立に、アルキル基、置換されたアルキル基、アリール基、置換されたアリール基、アラルキル基、置換されたアラルキル基、アルケニル基、置換されたアルケニル基を表す(但し、R5 ,R6 ,R7 およびR8 の全てが、アリール基または置換されたアリール基となることはない。)〕【化2】〔式中、R9、R10、R11、R12、R13は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいハロアルキル基、置換基を有してもよいエチレニル基、置換基を有してもよいスチリル基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリール基、ニトロ基、置換基を有してもよいアミノ基、ヒドロキシ基、置換基を有してもよい複素環基より選ばれる基を示す。R9とR10、R10とR11、R11とR12、R12とR13は、それぞれ一体となって、芳香環または複素環を形成してもよい。また、Yは、酸素原子または硫黄原子を示し、Xは、ハロゲン、BF4、PF6、AsF6、ClO4、SbF6、CF3SO3、CH3SO3またはCH3C6H4SO3を示す。〕

IPC (6)：

G03F 7/029 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/032 ,  G03F 7/038 ,  H05K 3/00

FI (6)：

G03F 7/029 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/032 ,  G03F 7/038 ,  H05K 3/00 F