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J-GLOBAL ID:200903009530050265

電界効果トランジスタ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 杉浦 正知
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991211489
Publication number (International publication number):1993036727
Application date: Jul. 29, 1991
Publication date: Feb. 12, 1993
Summary:
【要約】【目的】 電界効果トランジスタにおいて、ゲート電極の機械的保護を十分に図り、製造工程においてゲート電極の機械的損傷が生じるのを防止する。【構成】 ソースパッド12及びドレインパッド13をゲート電極5の長手方向の端部5aよりも外側に延在させる。これらのソースパッド12及びドレインパッド13により、端部5aを含むゲート電極5の全体を機械的に保護する。
Claim (excerpt):
ソース電極及びドレイン電極上にそれぞれソースパッド電極及びドレインパッド電極を有する電界効果トランジスタにおいて、上記ソースパッド電極及び上記ドレインパッド電極の少なくとも一方がゲート電極の長手方向の端部よりも外側に延在していることを特徴とする電界効果トランジスタ。
IPC (2):
H01L 21/338 ,  H01L 29/812
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 特開昭63-044775
  • 特開平3-095940
  • 特開平4-005850
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