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J-GLOBAL ID：200903009532367258
プローブ保持機構
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
日比谷 征彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992020418
Publication number (International publication number)：1993180616
Application date： Jan. 08, 1992
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：
【要約】【目的】 種々のプローブを容易にかつ確実に固定でき交換も容易に行うことができるようにする。【構成】 トンネル電流検出用のプローブ10は、弾性板ばね11によって板状の固定部材12に押圧固定されており、弾性板ばね11の自由端には、プローブ10が固定部材12の表面上をX方向に滑らないようにするための三角形状の切欠き13が設けられている。固定部材12と弾性板ばね11の片側端部は保持部材14の略中央に略垂直に接合固定されており、その際に弾性板ばね11の押圧部が固定部材12に押圧するように弾性板ばね11を弾性変形させながら固定されている。保持部材14はプローブをX、Y、Z方向に駆動する円筒型の微動用圧電素子15に接着などにより固定されている。
Claim (excerpt)：
プローブを固定する平面部を有する固定部材と、前記プローブを押圧する自由端に切欠きを設けた弾性板ばねとから成ることを特徴とするプローブ保持機構。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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