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J-GLOBAL ID：200903009544365064

ネガ型感放射線混合物、およびこの混合物を使用して製造された感放射線記録材料

Inventor： ゲルハルト、ローハウス、 ,  ワルター、シュピース ,  ゲオルク、パウロスキー
Applicant, Patent owner： ヘキスト・アクチェンゲゼルシャフト
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992124079
Publication number (International publication number)：1993204155
Application date： Apr. 17, 1992
Publication date： Aug. 13, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 酸によって架橋できる化合物との組み合わせで酸発生化合物をベースとする感放射線混合物(光分解生成物として腐食作用を有していない酸を与える)およびこの混合物を用いて製造された感放射線記録材料を提供する。【構成】 a)化学線の作用下で強酸を発生する化合物、b)酸によって架橋できる少なくとも2個の基を有する化合物およびc)水に不溶性であり且つ水性アルカリ性溶液に可溶性または少なくとも膨潤性である高分子結合剤を有するネガ型感放射線混合物であって、化合物(a)は1-スルホニルオキシ-2-ピリドンであることを特徴とするネガ型感放射線混合物に関する。

Claim (excerpt)：

a)化学線の作用下で強酸を発生する化合物、b)酸によって架橋できる少なくとも2個の基を有する化合物、およびc)水に不溶性であり且つ水性アルカリ性溶液に可溶性または少なくとも膨潤性である高分子結合剤を有するネガ型感放射線混合物であって、化合物(a)は式(I)【化1】(式中、R1 は水素原子またはアルキル、シクロアルキル、アリール、アラルケニル、ヘテロアリールまたはヘテロアラルケニル基であり、R2 は水素、塩素、臭素またはアルキル、シクロアルキル、アリールまたはヘテロアリール基であり、またはR1 およびR2 は一緒に5〜8員環を形成し、R3 は水素またはアルキル基であり、R4 は水素、ハロゲン、ニトロ、アシルアミノ、シアノ、チオシアナトまたはアルキル、アルケニル、アルキニル、アリール、アラルキル、アルキルチオ、アリールチオまたはシクロアルキルチオ基であり、R5 は水素またはアルキルまたはアリール基であり、またはR4 およびR5 は一緒に5〜8員環を形成し、R6 は水素、ハロゲン、ニトロ、アシルアミノ、シアノ、チオシアナトまたはアルキル、アルケニル、アルコキシアルキル、アリール、アラルキル、アルキルチオ、シクロアルキルチオまたはアリールチオ基であり、R7 はアルキルまたはシクロアルキル基、過フッ素化または高フッ素化アルキル基またはアリール、アリールアルキルまたはヘテロアリール基またはアルキレンまたはアリーレン基であり、mは1または2の数であり、nは0〜3の整数である)の1-スルホニルオキシ-2-ピリドンであることを特徴とするネガ型感放射線混合物。

IPC (5)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭60-263143
  
• 特開昭62-164045
  
• 特開昭64-088538