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J-GLOBAL ID：200903009564751750

膜厚・屈折率の色差観察法

Inventor： 足立 栄希 ,  永山 国昭
Applicant, Patent owner： 新技術事業団
Agent (1)： 西澤 利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993097794
Publication number (International publication number)：1994308021
Application date： Apr. 23, 1993
Publication date： Nov. 04, 1994
Summary：

【要約】【構成】 白色光源から固体または液体表面に光を照射し、反射光の部分消光から、膜厚および/または屈折率の差を色差として観察することを特徴とする膜厚・屈折率の色差観察法。【効果】 膜厚や屈折率分布を色の違いによって見分けることが可能となり、表面現象を実時間で観察することが可能となる。また、液体表面においても観察が可能となる。

Claim (excerpt)：

白色光源からの光を固体または液体表面に照射し、反射光中の部分消光から、反射光を着色し、膜厚および/または屈折率の差を色差として観察することを特徴とする膜厚・屈折率の色差観察法。

IPC (3)：

G01N 21/21 ,  G01B 11/06 ,  G01N 21/41

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭58-100705
  
• 特開平1-178851
  
• 特開昭62-096803