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J-GLOBAL ID：200903009572579193

アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその製造方法

Inventor： 斉藤 尚史
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 梅田 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997211072
Publication number (International publication number)：1999052419
Application date： Aug. 06, 1997
Publication date： Feb. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 明るく高コントラストを有するアクティブマトリクス型液晶表示装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】 絶縁性基板1上にベースコート膜2、活性層3、ゲート絶縁膜4、ゲート電極5を所定の形状に形成する。活性層3にはソース領域およびドレイン領域6とチャネル領域7とを形成する。その後、全面に層間絶縁膜8を形成し、コンタクトホール9を開口して、ソース電極10およびドレイン電極11を形成する。この後、全面に平坦化膜12を形成し、コンタクトホール13を開口する。続いて平坦化膜12のTFT上の領域をエッチングによって掘り下げ、凹部14を形成し、ドレイン電極11に画素電極15を電気的に接続する。次に、全面に黒色の樹脂を塗布し、コンタクトホール13および凹部14を黒色の樹脂で埋め、全面をエッチバックして画素電極15の表面を露出させるとともに、TFT上に遮光膜17を形成する。

Claim (excerpt)：

スイッチング素子を被覆して表面を平坦とする平坦化膜が形成され、前記平坦化膜に開口されたコンタクトホールを介して、前記スイッチング素子と前記平坦化膜上に形成された画素電極とが電気的に接続されるアクティブマトリクス型液晶表示装置において、前記平坦化膜は前記スイッチング素子の上方領域に膜厚方向に除去された凹部を有し、前記凹部に前記コンタクトホールが開口されるとともに、前記凹部は有色の絶縁膜で埋められていることを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置。

IPC (6)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 21/768 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (6)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 21/90 B ,  H01L 29/78 612 Z ,  H01L 29/78 627 A