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J-GLOBAL ID：200903009623585649

金属シリコンからのボロン除去方法

Inventor： 中村 尚道 ,  阿部 正道 ,  馬場 裕幸 ,  阪口 泰彦 ,  加藤 嘉英 ,  斉藤 健志
Applicant, Patent owner： 川崎製鉄株式会社
Agent (1)： 小杉 佳男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997079318
Publication number (International publication number)：1998279305
Application date： Mar. 31, 1997
Publication date： Oct. 20, 1998
Summary：

【要約】【課題】太陽電池用シリコンの製造工程の脱ボロン工程において、別途本発明者が開発しているプラズマジェットの脇に酸化性ガスと還元性ガスとを添加してする技術をさらに改善し、ボロンの除去を一層迅速に行う。【解決手段】金属シリコンを酸化性雰囲気中でプラズマ溶解しボロン除去するに当りプラズマ電極として銅中空電極を用い、酸化性ガス及び還元性ガスの混合ガスをプラズマトーチ内でプラズマ作動ガスに混合してプラズマトーチからジェット噴射する。

Claim (excerpt)：

金属シリコンを酸化性雰囲気中でプラズマ溶解しボロン除去するに当り、酸化性ガス及び還元性ガスの混合ガスをプラズマ作動ガスに混合してプラズマトーチからジェット噴射することを特徴とする金属シリコンからのボロン除去方法。

IPC (2)：

C01B 33/037 ,  H01L 31/04

FI (2)：

C01B 33/037 ,  H01L 31/04 H