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J-GLOBAL ID：200903009632845220

感光性塗布液の脱気方法及び装置

Inventor： 小田 和孝 ,  中山 光幸
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993061463
Publication number (International publication number)：1994254304
Application date： Feb. 26, 1993
Publication date： Sep. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 脱気チューブの本数の増加や長さの拡大をすることなく、従来と同じ脱気チューブの面積に於て飛躍的に高い脱気能力を有する脱気方法及びその装置を提供する。【構成】 脱気チューブとしては内径8mm,長さ10mの脱気チューブを4本をフィン付加熱ユニット17に巻付けた。減圧チャンバー17を真空ポンプ9に接続し20Torrの減圧に吸引した。液温度25°C→40°C→60°Cの上昇により脱気度が2倍にも大きくなり、処理能力を著しく高めることが出来る。

Claim (excerpt)：

減圧チャンバー内に収容された高分子脱気チューブの内側に感光性塗布液を流し前記高分子脱気チューブの外側を減圧に吸引することにより前記感光性塗布液中の溶存ガスを脱気する脱気方法において、前記高分子脱気チューブ内の感光性塗布液の温度を上げて脱気することを特徴とする感光性塗布液の脱気方法。

IPC (4)：

B01D 19/00 ,  B05C 11/10 ,  G03C 1/74 ,  H01L 21/027