Pat
J-GLOBAL ID：200903009637459743
薄膜トランジスタ及び液晶表示装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
滝本 智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998046964
Publication number (International publication number)：1999251596
Application date： Feb. 27, 1998
Publication date： Sep. 17, 1999
Summary：
【要約】【課題】 動作時の発熱や静電気に基づく特性の劣化を防止することの可能な薄膜トランジスタを提供することを目的とする。【解決手段】 無アルカリガラス基板21上に導電性物質層19、アンダーコート層20、複数個の薄膜トランジスタを順次形成する。この導電性物質層の存在により、近傍における大きな電位差が生じなくなり、また放熱も行いやすくなる。導電性物質としては、タングステン、タンタル、チタン、クロム、モリブデンの少なくとも一つを用いることができ、容量を考慮すると、導電性物質層が格子状パターンに形成されていることが望ましい。この場合には、格子状パターンの幅をその上に形成される配線パターン等の最小値より小さくすることがより望ましい。
Claim (excerpt)：
絶縁性基板上に形成された導電性物質層と、前記導電性物質層が形成された前記絶縁性基板上に形成されたアンダーコート層と、前記アンダーコート層上に形成された複数個の薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタに接続された配線とを有する薄膜トランジスタ。
IPC (2)：
H01L 29/786
, G02F 1/136 500
H01L 29/78 623 A
, G02F 1/136 500
, H01L 29/78 623 Z
, H01L 29/78 626 C
