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J-GLOBAL ID：200903009648146623

CaF2の光励起エッチング

Inventor： モンテ エイ.ダグラス
Applicant, Patent owner： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
Agent (1)： 浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992139210
Publication number (International publication number)：1993160108
Application date： May. 29, 1992
Publication date： Jun. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】 CaF2表面(12)の光励起(フォト-スティミュレイテッド)エッチングの方法を提供する。【構成】 CaF2表面(12)を雰囲気種(16)にさらす段階と、CaF2表面(12)および/或いは雰囲気種(16)を光励起によって十分に励起してCaF2表面(12)の雰囲気種(16)との反応によりCaF2/雰囲気種生成物を形成することが可能である段階、および雰囲気種(16)およびCaF2/雰囲気種生成物をCaF2表面(12)から除去する段階とが含まれる。

Claim (excerpt)：

CaF2表面の光励起エッチングの方法であって、前記表面を雰囲気種にさらす段階と、前記表面および/或いは前記雰囲気種を光励起によって十分に励起させて、前記表面の前記雰囲気種との反応によりCaF2/雰囲気種反応生成物の形成を可能にする段階と、前記雰囲気種および前記反応生成物を前記表面から除去する段階とを含む方法。

IPC (2)：

H01L 21/306 ,  H01L 29/88