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J-GLOBAL ID:200903009651643689
無接触プレス
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991326544
Publication number (International publication number):1993138569
Application date: Nov. 13, 1991
Publication date: Jun. 01, 1993
Summary:
【要約】【目的】 板状体を傷や汚れを付着せずに加圧あるいは引き上げる無接触プレスを提供する。【構成】 流体送入口を設けた上方部の周囲に、下方に向く周壁部を形成した椀状の基部の下方を解放し、該周壁部の下端に作動面を設けた空気保持器と、該空気保持器を移動させる移動機構とで構成される。
Claim (excerpt):
高圧流体Cが流入する流体送入口1を設けた上方部2と、該上方部2の周囲にかつ下を向いて形成された周壁部3とにより、前記周壁部3下端に近ずく板状体Gとの距離が大なるに際して前記流体送入口1から流入する前記高圧流体Cによるエゼクタ効果に伴う負圧作用により前記板状体Gを吸引するとともに、前記距離が小なるに際して流入する前記高圧流体Cによる圧力室型エアクッション効果に伴う正圧作用により、前記板状体Gを離間させるクッション室4を形成する空間を有する椀状の基部Bを備える一方、該基部Bは、前記周壁部3下端に、前記板状体Gとの間で外向に流出する前記高圧流体Cが増速することによるベルヌーイ効果にともなう負圧作用により板状体Gを吸引するとともに、流出する前記高圧流体Cによって板状体Gとの接触が阻止される広幅かつ前記周壁部3の方向に連続する作動面5を備えいる空気保持器A及び空気保持器Aと前記板状体Gとの距離を保持さす移動機構からなる無接触プレス。
IPC (4):
B25J 15/06
, B65H 3/14
, B65H 5/14
, H01L 21/68
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